NE-PE60F真空等离子清洗设备主要由真空腔体、高频等离子电源、真空产生及测量系统、工艺气体系统、控制系统等部分组成。工作基本原理是利用真空泵将工作室进行抽真空到一定的真空度后，通入工艺气体，在高频发生器作用下，在阳极和阴极之间形成高频交变电场，将气体进行电离，形成等离子体。当气体到达等离子状态时，气态分子会裂变成许多高度活跃的粒子。等离子清洗的机理正是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，达到去除物体表面污渍或改善表面活性的目的。